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DVIF基礎(chǔ)隔振平臺
基于30年在半導(dǎo)體制造工廠中安裝基礎(chǔ)隔離系統(tǒng)的經(jīng)驗，DAEIL SYSTEMS保證通過控制振動來提供最高質(zhì)量的產(chǎn)品，并提高半導(dǎo)體制造的產(chǎn)量。
在潔凈室安裝基礎(chǔ)隔離系統(tǒng)
首先，我們在振動敏感的半導(dǎo)體設(shè)備將被安裝的高架地板下面建立一個基礎(chǔ)隔離系統(tǒng)。
建立基礎(chǔ)隔振系統(tǒng)后，我們用我們的平臺替換了一部分活動地板。 隔離平臺不會受到周圍活動地板振動的影響。 現(xiàn)在，半導(dǎo)體設(shè)備可以產(chǎn)生最好的性能而不受振動的干擾。
DVIF安裝在潔凈室內(nèi)