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DVIM-M標準氣動隔振器



DVIM系列提供了比ISO氣動隔振器更多的阻尼,它是一個用于線性XY平臺的子系統(tǒng),可以最大限度地減少振動,并在平臺運動發(fā)生后穩(wěn)定平臺。 DVIM-M以合理的價格提供快速的有效載荷設置時間,高隔振性能水平和阻尼。


卓越的隔振性能
DVIM-M在垂直和水平軸上都提供了高水平的隔振。 DVIM-M氣動隔振器經過優(yōu)化,可在重型和高速線性XY平臺內提供最大的隔振性能。


創(chuàng)新的調平閥門,加快建立時間
我們的三個雙向調平閥能夠自動調節(jié)系統(tǒng),提供多種閥門選擇,從±0.5mm的重復性標準閥門到±0.05mm重復性的精確閥門。另外,在DVIM-M型隔振器上加裝A.O.V閥,使沉降片在沉重的階段運動后,通過控制氣流,使垂直和水平軸上的整個系統(tǒng)迅速沉降。


油阻尼器選項
當內置油阻尼器使用DVIM-M隔離器時,XY線性平臺的運動被最小化,有效負載穩(wěn)定時間減少,隔離器的剛度增加。


應用
線性階段、半導體/ FPD制造檢測系統(tǒng)、光學激光設備、OEM應用程序


一般規(guī)格
隔振:氣動隔離
自然頻率:垂直:2.5?2.8Hz,水平:2.7?3.0Hz
隔振:10Hz時±90%
建立時間:±3.0秒
調平:自動調平
調平重復性:精密閥門:±0.05mm,標準閥門:±0.1mm
阻尼:內部孔板,外部或內置油阻尼器


性能和解決時間


 
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