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產(chǎn)品中心

DVIM-G高級氣動隔振器


 

DVIM系列提供比ISO氣動隔振器更多的阻尼,它是一個用于線性X-Y平臺的子系統(tǒng),可以最大限度地減少振動,并在平臺運動發(fā)生后穩(wěn)定平臺。 DVIM-G提供最快的有效載荷建立時間,主要的隔振性能和優(yōu)異的阻尼性能。


主要的隔振
與競爭對手的氣動隔振器不同,DVIM-G采用特殊的機械過濾系統(tǒng),提供卓越的水平隔振。此外,DVIM-G具有無與倫比的垂直隔振性能,DVIM-G氣動隔振器經(jīng)過優(yōu)化,可在重型和高速線性X-Y平臺內(nèi)提供最大的隔振性能。


兩室和可變孔板
DVIM-G的雙室系統(tǒng)包括一個氣室和一個連接兩個孔的阻尼室:一個位于室外的可變孔和一個位于室內(nèi)的內(nèi)孔。這些孔控制這些腔室之間的空氣流動,這增加了阻尼效率并減少了沉降時間。當(dāng)發(fā)生階段運動時,氣室產(chǎn)生恢復(fù)力,空氣通過小孔流入阻尼室。這些孔消耗空氣中的能量和擾動,導(dǎo)致系統(tǒng)阻尼,減少有效負載的建立時間。


創(chuàng)新的調(diào)平閥門,加快建立時間
我們的三個雙向調(diào)平閥能夠自動調(diào)節(jié)系統(tǒng),提供多種閥門選擇,從±0.5mm的重復(fù)性標(biāo)準(zhǔn)閥門到±0.05mm重復(fù)性的精確閥門。另外,在DVIM-G型隔振器上加裝A.O.V閥,使沉降片在沉重的階段運動后,通過控制氣流在垂直和水平軸上快速沉降整個系統(tǒng)。


油阻尼器選項
當(dāng)DVIM-G隔離器與外部油阻尼器一起使用時,X-Y線性級的運動被最小化,有效負載穩(wěn)定時間減少,并且隔離器的剛度增加。


應(yīng)用
線性階段、半導(dǎo)體/ FPD制造檢測系統(tǒng)、光學(xué)激光設(shè)備、OEM應(yīng)用程序


規(guī)格
隔振:氣動隔離
自然頻率:垂直1.5-1.7Hz,水平:1.2-1.5Hz
隔振:10Hz時±95%
建立時間:±1.0秒
調(diào)平:自動調(diào)平
調(diào)平重復(fù)性:精密閥門:±0.05mm,標(biāo)準(zhǔn)閥門:±0.1mm
阻尼:可變孔板,內(nèi)部孔板,雙室系統(tǒng),外部油阻尼器


性能


解決時間



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