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DVIA-P主動(dòng)式氣動(dòng)隔振器
主動(dòng)氣動(dòng)隔振系統(tǒng)用于半導(dǎo)體/ FPD制造
DVIA-P系列是為半導(dǎo)體制造提供振動(dòng)隔離。 當(dāng)晶圓制造在線性電動(dòng)平臺(tái)上處理完整的電或光子集成電路時(shí)，在整個(gè)儀器上發(fā)生振動(dòng)，并且半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)低頻振動(dòng)非常敏感。 在這些情況下，DVIA-P系列通過氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)將振動(dòng)降至最低，并確定隔離有效負(fù)載的殘余運(yùn)動(dòng)。
特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)
通過數(shù)字信號(hào)處理器控制系統(tǒng)
DVIA-P系列的數(shù)字控制器采用A / D 19通道16位和D / A 10通道24位D / A轉(zhuǎn)換器來(lái)獲得振動(dòng)的同步采樣。該控制器采用德州儀器（TI）的TMS320C6713?225MHz數(shù)字信號(hào)處理器，通過不斷計(jì)算所有震源，控制整個(gè)隔振系統(tǒng)，然后將信號(hào)傳輸至氣動(dòng)執(zhí)行器以抵消傳入的振動(dòng)。
功能強(qiáng)大的氣動(dòng)伺服閥執(zhí)行器
由于采用了氣動(dòng)伺服閥驅(qū)動(dòng)器，因此DVIA-P系列比被動(dòng)隔振系統(tǒng)更堅(jiān)固。氣動(dòng)伺服閥驅(qū)動(dòng)器非常強(qiáng)大和堅(jiān)固，可以支持高速線性工作臺(tái)上的半導(dǎo)體制造設(shè)備。氣動(dòng)伺服閥驅(qū)動(dòng)器的優(yōu)點(diǎn)是高速響應(yīng)伺服閥，其控制大量氣流，產(chǎn)生足夠的力來(lái)穩(wěn)定線性臺(tái)上的半導(dǎo)體制造設(shè)備。
卓越的主動(dòng)隔振性能
如透射率曲線所示，DVIA-P系列克服了被動(dòng)隔離系統(tǒng)的局限性。 DVIA-P系列的頻率范圍在1-10赫茲，無(wú)源隔離系統(tǒng)可以放大振動(dòng)，而半導(dǎo)體設(shè)備往往受到低頻振動(dòng)的嚴(yán)重干擾。此外，沒有諧振，DIVA-P系列的有源系統(tǒng)開始以0.5 Hz的頻率隔離，在10 Hz時(shí)實(shí)現(xiàn)90 - 95％的隔離度。
超快建立時(shí)間和位置精度
在主動(dòng)氣動(dòng)系統(tǒng)中，位置傳感器通過DSP控制器連續(xù)測(cè)量隔離基座的位置并保持其位置。 結(jié)果，定位精度顯著提高。 加速度計(jì)傳感器測(cè)量進(jìn)入的振動(dòng)并作出反應(yīng)，以最小化來(lái)自線性平臺(tái)和地板的振動(dòng)，這意味著主動(dòng)系統(tǒng)可以顯著減少建立時(shí)間。 如隔離有效載荷相對(duì)于線性載臺(tái)移動(dòng)力的旋轉(zhuǎn)加速度曲線所示，清楚地表明了改善的位置精度和更快的建立時(shí)間。
旨在支持線性階段
當(dāng)線性級(jí)以較大的加速度和質(zhì)量行進(jìn)時(shí)，發(fā)生較大的位移。 DVIA-P系列的加速度反饋控制，最大限度地減少了位移，減少了建立時(shí)間，提高了系統(tǒng)的位置精度。 此外，如果實(shí)時(shí)測(cè)量的載臺(tái)位置和加速度的模擬輸出連接到控制器，則可以采用載臺(tái)前饋系統(tǒng)。 SFF系統(tǒng)產(chǎn)生的力與舞臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)力矩和舞臺(tái)振動(dòng)力成正比，這可以大大減少線性舞臺(tái)的位置偏移。
控制所有六個(gè)自由度的振動(dòng)
在DVIA-P系列中安裝了6個(gè)位置傳感器，9個(gè)加速度計(jì)傳感器和8個(gè)氣動(dòng)伺服閥執(zhí)行器，以三種平移運(yùn)動(dòng)（X，Y和Z）檢測(cè)和控制振動(dòng)，三個(gè)旋轉(zhuǎn)角度的運(yùn)動(dòng)（俯仰，滾轉(zhuǎn)和偏航）。
反饋和前饋算法
位置反饋：當(dāng)隔震基座受到振動(dòng)干擾時(shí)，位置反饋通過位置傳感器測(cè)量位移，位置傳感器將信號(hào)傳輸?shù)綌?shù)字控制器?？刂破魇盏絹?lái)自傳感器的信號(hào)后，調(diào)節(jié)氣動(dòng)伺服閥的氣流，返回原位。
加速度反饋：在這個(gè)反饋系統(tǒng)中，加速度傳感器連續(xù)檢測(cè)干擾隔離底座的振動(dòng)，并作出反應(yīng)以最小化振動(dòng)。換句話說，加速度反饋系統(tǒng)不僅減少了來(lái)自地板的振動(dòng)，而且有效地減少了來(lái)自線性平臺(tái)的振動(dòng)。
地板前饋：地板前饋系統(tǒng)以預(yù)定義的方式過濾地板振動(dòng)。當(dāng)存在已知的因素如施加到隔離基座的力，環(huán)境振動(dòng)的數(shù)據(jù)和需要隔離的設(shè)備的信息時(shí)，使用前饋控制系統(tǒng)。與反饋控制系統(tǒng)不同，前饋系統(tǒng)分析設(shè)備的動(dòng)態(tài)特性，并通過試錯(cuò)法調(diào)整前饋增益來(lái)操作執(zhí)行器。
舞臺(tái)前饋：當(dāng)系統(tǒng)預(yù)先提供了有關(guān)線性舞臺(tái)的信息時(shí)，系統(tǒng)可以在相反的方向上產(chǎn)生與所施加的力（振動(dòng)）相等的隔離有效載荷的力。結(jié)果，由線性臺(tái)產(chǎn)生的作用力被有效地消除。
為了與其他設(shè)備兼容，控制器的前面板上有LED指示燈，電源開關(guān)，兩個(gè)控制開關(guān)，用于調(diào)節(jié)的串行接口和兩個(gè)模擬輸出。 控制器后面板上有四個(gè)執(zhí)行器連接器，模擬輸出連接器和數(shù)字輸入輸出連接器（16位）。
振動(dòng)現(xiàn)場(chǎng)勘測(cè)和安裝
我們?yōu)榭蛻糇鲆磺惺虑椤?我們派出經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師團(tuán)隊(duì)來(lái)測(cè)量所有的環(huán)境噪音來(lái)源。 在收集振動(dòng)數(shù)據(jù)后，我們分析數(shù)據(jù)來(lái)設(shè)計(jì)最佳的隔振系統(tǒng)。 一般來(lái)說，DVIA-P系列是安裝在半導(dǎo)體晶圓廠的活動(dòng)地板下，需要技術(shù)專長(zhǎng)，因此，我們經(jīng)驗(yàn)豐富的安裝和工程師團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)安裝和調(diào)整隔離系統(tǒng)，直到客戶滿意為止。
自由度：3軸，6自由度
隔離性能：10 Hz時(shí)隔離度為95％ - 99％
有源帶寬：0.5 Hz - 100 Hz
建立時(shí)間：0.5秒
定位精度：±10μm
耗氣量：標(biāo)準(zhǔn)閥：60 Nl / min
高速響應(yīng)閥：250 Nl / min
電力：交流單相100 - 240V 100W
系統(tǒng)配置：4個(gè)隔離器單元，1個(gè)外部控制器
應(yīng)用領(lǐng)域
精密步進(jìn)式光刻、步進(jìn)、FPD制造、面具對(duì)準(zhǔn)器、納米光刻設(shè)備、晶圓檢查、在線檢測(cè)系統(tǒng)、在線FIB-SEM系統(tǒng)、在線原子力顯微鏡系統(tǒng)、X射線檢測(cè)系統(tǒng)、CD-SEM
DVIA-P
